Der Einsatz von Interface Testing Software (beispielsweise SECSIM Pro® oder DiDaCT von PEER Group) zur Prüfung der Konformität des Interface mit dem SEMI Standard und/oder kundenspezifischen Szenarien ist ein Nachweis der Fähigkeiten des Equipment Interface und eine Voraussetzung für ein Gelingen der FabIntegration.
SEMI STANDARDS MIT DENEN WIR ARBEITEN SIND (U.A.)
- E5 SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT (SECS-II)
- E10 SPECIFICATION FOR DEFINITION AND MEASUREMENT OF EQUIPMENT RELIABILITY, AVAILABILITY, AND MAINTAINABILITY (RAM)
- E30 GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT (GEM – Generic Equipment Model)
- E37 HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES
- E40 STANDARD FOR PROCESSING MANAGEMENT
- E84 SPECIFICATION FOR ENHANCED CARRIER HANDOFF PARALLEL I/O INTERFACE
- E87 SPECIFICATION FOR CARRIER MANAGEMENT (CMS)
- E90 SPECIFICATION FOR SUBSTRATE TRACKING
- E94 SPECIFICATION FOR CONTROL JOB MANAGEMENT
Equipment Automation
- Unterstützung bei der Abbildung der Abläufe am Equipment an die SEMI Statusmodelle
- Erfahrungen mit dem PTO® Framework
Factory Integration
- Unterstützung bei der Feststellung der SEMI Konformität des Equipment interface
- Unterstützung bei der Anbindung an Factory Services entsprechend der operational Scenarios der Fab (E87, E94, E40, E90 etc.)